近日,廣東華特氣體股份有限公司(以下簡稱“公司”)憑借卓越的產品性能及穩定的供應能力,被中國領先的半導體IDM企業——杭州士蘭微電子股份有限公司(以下簡稱“士蘭微”)旗下的士蘭半導體制造事業總部正式授予“材料戰略合作供應商”榮譽稱號。此項授牌不僅標志著公司在高端半導體材料領域的研發實力與穩定供應能力獲得產業鏈核心企業的高度認可,也是彰顯在推動特種氣體國產化進程中的關鍵作用。

公司始終專注于特種氣體的技術突破與產業化應用。截至2025半年度,公司擁有259 項專利,主持或參與制定包括多項電子工業用氣體國家標準在內的67項標準、6項行業標準、1項國際標準和11項團體標準,技術積累覆蓋半導體制造14nm、7nm先進制程工藝需求,部分氟碳類產品、氫化物已進入到5nm的先進制程工藝并不斷擴大覆蓋范圍。
同時,公司自主研發的高純四氟化碳、六氟乙烷、光刻氣等核心產品成功實現進口替代;自主研發的光刻混合氣有Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne、Kr/F/Ne和Ar/Ne/Xe等,是國內唯一一家同時通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會社雙重認證的氣體企業,技術壁壘與國際化認證能力穩居行業前列。
在客戶覆蓋度方面,目前公司已成功實現了對國內8寸及以上集成電路制造廠商超過90%的客戶覆蓋率,客戶認同度持續提升。士蘭微作為中國半導體產業的重要力量,此次榮獲其旗下士蘭半導體制造事業總部的合作授牌,既是對公司技術可靠性與供應鏈穩定性的權威背書,亦為雙方深化晶圓制造材料協同創新奠定基礎。
另外,公司還承擔國家重大科技專項(02專項)中的《高純三氟甲烷的研發與中試》課題等重點科研項目及廣東省戰略性新興產業區域集聚發展試點(新一代顯示技術)項目中的“平板顯示器用特種氣體”研發,連續四屆入選“中國電子化工材料專業十強”,并斬獲“全國氣體標準化先進單位”、“IC創新獎”等獎項榮譽。此次授牌進一步印證了公司在高端供應鏈的突破能力,為產業鏈自主可控提供范本。

在全球半導體產業競爭加劇的背景下,公司未來將持續深耕技術研發,發揮產能協同效應,攜手士蘭半導體制造事業總部等產業鏈伙伴,共同構建安全、高效、創新的特種材料供應體系,助推中國半導體產業高質量發展。


